Aktuelle Forschung

PPA-Litho-Projekt: Erste Beispiele für die Anwendung der neuen PPA-Resists

In dem Eurostar-Projekt arbeiten Unternehmen aus der Schweiz, Österreich und Deutschland zusammen. Inzwischen ist es gelungen, die recht aufwändige Synthese der Polyphthalaldehyde (PPA)
zu optimieren und in die Klein-Produktion zu überführen. Aus den Polymeren werden mittlerweile
unterschiedliche Resistmuster hergestellt. Diese wurden bei der Swisslitho AG mit dem Nano-Frazor mit sehr guten Ergebnissen getestet. Das Prinzip ist einfach. Die Resistschicht wird mit einer heißen Nadel abgerastert, bei jedem Tipp verdampft das thermolabile PPA, dadurch werden die Strukturen in die Schicht übertragen. PPA-Resists werden auch Hinsichtlich ihrer Eignung als positiv arbeitender E-Beamresist untersucht. Erste Ergebnisse der Allresist GmbH mit der Firma Raith zeigen, dass auch eine Strukturierung mittels Elektronenstrahlen möglich ist.

Ansprechpartner: Dr. Thomas Köpnick
Quelle: Matthias Schirmer, www.allresist.de

„Polarisationselemente für den NIR-Bereich“

Das ZIM-Kooperationsprojekt zielt darauf ab, der optischen Sensorik und Messtechnik neuartige, preisgünstige Polarisationselemente für den nahen Infrarotbereich zwischen 800 nm und 900 nm zur Verfügung zu stellen. Solche Elemente vermindern deutlich die Störanfälligkeit bestehender Systeme gegenüber Rauch und sind in der Lage, transparente Objekte zu detektieren und ermöglichen somit neue Anwendungen. Das IDM versteht sich in diesem Projekt als Schnittstelle zwischen Chemie und Physik, wobei die Grundmischungen und zwei optische Elemente auf Folien kostengünstig für ein Rolle-zu-Rolle-Verfahren entwickelt und abschließend charakterisiert werden sollen. Dafür stehen Know-How zu flüssigkristallinen und Grenzflächen-Wechselwirkungen, diverse Filmpräparations- und Bestrahlungseinrichtungen, polarisierte UV/Vis Spektroskopie, sowie Messtechnik zur Charakterisierung des Phasenverhaltens und der Doppelbrechung zur Verfügung. Die Einzelelemente konnten erfolgreich bei Substratgrößen von bis zu 140×180 präpariert werden, die Kombination zum Stack ist demnächst geplant.

Ansprechpartner: Dr. Regina Rosenhauer